自唐朝以后，五台山的佛教步入了平稳发展的阶段，宋太宗时期，敕令建造太平兴国寺，并免除了五台山寺院的税赋，还送五台山寺院经藏、佛像、金币等物，安排寺院住持，遣使造寺，使五台山的僧寺骤然猛增。
宋真宗曾敕令五台山文殊院建重阁，设文殊像。当时五台山共有寺院73座，盛行的宗派有华严、唯识、天台等派。
栖贤寺位于五台山的大社村。栖贤寺寺院建造在悬崖上，从崖底的下院开始，凿石为阶，在凸出的石壁上盖有亭子和殿堂僧舍。
下院正面建有5间殿堂，当中一间为穿堂，接着便是岩壁下的短窄石阶通道，通道中段，外侧凸起的岩石上建有六角亭，称为“观音亭”，亭檐下的横枋上有3幅画，表现的都是观音显示真容拯救受到歹徒和猛兽威胁的凡人事迹。
中段傍岩壁筑7间殿堂僧舍，从小门入内，墙壁与石壁之间很贴近，院道不足1米。中间一段墙壁上画有十八罗汉，6位一组，均为日常生活状，富有凡世的情趣。
栖霞寺的中殿，内有高约1米，长约两米的铜牛立像，称之为大社铜牛，系五台山十景之一。天王殿内有八角13层木塔一座，高约9米，结构精巧，尤其是斗横，雕工极佳，是五台山唯一的一座木塔。
后殿有一面大鼓，是五台山最大的牛皮大鼓。
龙泉寺原为杨家将家庙，始建于宋代，占地面积约为16000平方米，殿堂僧舍有165间。因这里有九道山岭环抱，泉水清澈见底，称作“龙泉”，龙泉寺因此而得名。
寺中的影壁和牌坊与东院处在一条中轴线上，由108级石板台阶相连。台阶上有座三门四柱的牌坊，采用汉白玉石雕造而成，前后垂檐和三门拱券，都采用镂空雕法，玲珑剔透。
整个牌楼雕满飞龙、花梁、纸扇、宝镜、书笔、尘掸、玉壶等多种图案，形象逼真。这是五台山最出名的石刻牌坊，牌坊整体雄伟壮观，巧夺天工，据说是由工匠耗时6年才建成，牌坊上刻有89条蛟龙，鳞爪俱现，神态逼真。
牌坊后面的东大院前后两进，有天王殿、观音殿、大佛殿等建筑。中院也叫“塔院”，龙泉寺三宝之一的墓塔就位于中院的祖师殿前。墓塔通体用汉白玉石做成，造型和雕工均十分精美。
塔下方台6.4米见方，高1.5米，上边和下边各雕一圈莲花瓣，四角有4位大力士托塔金刚，台基中间内槽的坐佛小像110尊。
墓塔底座为八角须弥座，每角又各雕一力士像，宝壶形塔肚设4龛，各刻一尊弥勒佛像，这是因为普济生前自称弥勒转世，所以弟子特刻弥勒像。
塔腹上面这八角飞檐，配以斗拱，宛若伞盖，既荫被四佛，又美观大方。
在龙泉寺西北方向的山坡上，有一座杨业的瘗骨塔。传说杨业死后，五郎将其尸骨埋葬于此，并建塔纪念。宋太宗后来追封杨业为杨令公，所以后人都将这座塔称为“令公塔”。
金朝建立之后，受汉人崇佛的影响，历代皇帝都倾仰于五台山的文殊圣地。
1137年，金熙宗完颜亶下令在佛光寺重建了7间木构建筑的文殊殿和5间木构建筑的天王殿。海陵王完颜亮于1158年建造了繁峙县灵岩寺，并命御前画臣王逵绘制水陆壁画。
后世宗完颜雍又兴建了万岁寺、平章寺等，并重修了净名寺。在这个时期内，五台山的密宗、禅宗和唯识宗都有长足的发展。
元代帝王尊崇佛教，尤尊藏传佛教。元朝初年，西藏佛教开始传入五台山，忽必烈即位后，封西藏名僧八思巴为国师，八思巴亲到五台山朝礼文殊。
元中统年间，藏族高僧胆巴谒见了忽必烈，奉诏居住在五台山寿宁寺长达10年之久。随着胆巴住台，不少藏族僧人也相继居于五台山，五台山的藏传佛教从此兴盛起来，逐渐促使五台山成为了我国独一无二的汉传佛教与藏传佛教并存的佛教圣地。
元成宗孛儿只斤·铁穆耳亲临五台山朝拜文殊，大做佛事，广修寺院。元武宗海山还数度发军，到五台山修建寺院。元仁宗爱育黎拔力八达曾特敕“置五台寺济民局”和“敕五台灵鹫寺置铁冶提兴司”。
英宗硕德八剌“禁五台山樵采”并“驾幸五台山”，敕令重修寺院。泰定帝也孙铁木儿“敕建殊像寺于五台山，赐田三百顷”，大做佛事。
元代在五台山重修和新建的寺院和塔院寺有10多座，并规定每寺住僧300人。在元代，除了藏传佛教兴起之外，其他宗派如华严宗、慈恩宗、禅宗也颇为兴盛，并涌现出了不少高僧。
1302年，泰定帝也孙铁木儿在五台山显通寺的南侧建立了塔院寺。因院内有大白塔，所以起名为塔院寺。塔院寺坐北朝南，沿中轴线分布的建筑有影壁、牌坊、石碑、周门、山门、钟鼓楼、天王殿、大慈廷寿宝殿、塔殿藏经阁，以及山海楼、文殊发塔等建筑，气魄雄伟，有殿堂楼房130余间，占地面积15000平方米。
塔院寺门前，有3门木牌坊一座。这一木牌坊斗拱雕工精美，顶饰典雅兴大方。所有木制构件都经过精工雕饰，用工精细，是塔院寺中的珍贵木雕作品。
在五台山众多佛塔中，耸入云天的大白塔，是整个寺院的主要标志，其他塔犹如众星捧月一样簇拥着它。大白塔的全称为释迦牟尼舍利塔，从而便简称其为舍利塔，习惯性称为五台山白塔。
这座塔拔地而起，凌空高耸，在五台山群寺簇拥下颇为壮观，人们把它当做五台山的标志。
据《清凉山志》记载，大白塔在汉明帝以前就已经存在。佛教有一传言，486年释迦牟尼佛圆寂之后，尸骨炼就成8.4万个舍利子，古印度阿育王用黄金七宝铸成了8.4万座佛舍利塔，分布于大千世界中。我国有19座，五台山独得其一，称之为“慈寿塔”。
相传东汉明帝时，西域僧人摩腾就是看到五台山台怀之地似佛祖说之灵鹭山，且此地已有一佛塔才奏明汉明帝在五台山修筑寺院的。由此可知，佛舍利塔，应该建造于五台山兴建佛寺之初。
1302年，尼泊尔匠师阿权尼哥设计建造并完善了大白塔，将以前的慈寿塔置于大塔腹中。该塔工程之大，建造之难，为五台山之冠。大白塔位于殿阁之间，雄伟挺拔，直指蓝天，有气壮山河、一览五台的气概。
大白塔外形为藏式，高50米，塔基为正方形。建塔时，砖缝全部用米浆、石灰搅拌后砌筑而成。塔面呈白色，高高钻入云天，白塔形如藻瓶，塔利、露盘、宝珠等都是用铜铸成的精致装饰品。
白塔上，风磨铜宝瓶系以垂带，悬以铜铃，风吹铃动，252个铜铃“叮当”作响，清脆悦耳，回荡在五台山上空。白塔下层建有3间塔殿，内有三大士铜像，有瓷质济公和尚塑像和木雕刘海戏金蟾像等。
白塔东面还有一座小塔，取名为文殊发塔，外抹白灰，通体白净，状如宝葫芦。相传文殊菩萨显圣遗留的金发，就藏其中。
大白塔底坐碹洞里有佛足碑，石碑上所刻的佛足足印长1.6尺，宽6寸，足心有千幅轮相和宝瓶鱼剑图，10个足趾有华纹字。
据下部碑文的解释来看，释迦牟尼去世前站在一块大石上，对他的弟子阿难说：“我最后留此足迹，以示众生。谁见到此足印，瞻礼供养，就能免罪消灾。”
唐玄奘西行取经时，把这佛足印也拓下带回，唐太宗敕令将佛足刻在石上，立于祖庙。到了后来的明代，寺僧又按图刻石，并供养在大白塔下。周围还立有其他蒙、藏、汉文各类碑记数十通。
文殊发塔北侧建有面宽5间，高2层的大藏经阁。正中门顶上挂有一块木匾，上有后来清朝皇帝乾隆皇帝御笔题写的绝句一首：
两塔今唯一尚存，既成必坏有名言。如寻舍利及丝发，未识文殊与世尊。
在藏经阁内有一木制经架，叫转轮藏，六角形构成上大下小形状，每层分若干小格，放置经书。最下层底下有转盘，人力推动，能够来回运转。
所以制成这种转轮藏，按佛教的说法是转动诵经，能为朝山拜佛者消灾除难。藏经阁存有汉、蒙、藏多种文字的经书2万多册。
塔院寺内，还有大雄宝殿5间，藏经阁位于大雄宝殿后，白塔位于大雄宝殿和藏经阁之间，塔周围有廊房围绕，塔院寺东部，还有布局完整的禅院。
出身于僧侣的明代开国皇帝朱元璋，刚一登基就实行了保护佛教，兴隆佛教，尤尊汉藏佛教圣地五台山的政策。他先后召见了五台山的高僧璧峰和具生吉祥，分别颁赐紫衣、金钵、度牒、御制诗等。
明成祖朱棣派人迎请西藏名僧哈里嘛入京，敕封为大宝法王，令他统领天下的佛教，遣使护送哈里嘛到五台山的显通寺内安置，后又敕修佛舍利塔及显通寺，还在寺中塑造了哈里麻的肖像。
藏传佛教格鲁派祖师宗喀巴的弟子释迦耶希曾到五台山巡礼弘法，入京后受到明成祖的盛情接待，并封他为大国师，赐金印、经像、金银器等物。之后释迦耶希往五台山，朱棣又几次致书慰问。
后来，明英宗朱见深敕造《大藏经》送往五台山普恩寺，送五台顶供养，又敕谕护持显通寺。朱见深遣人送镀金文殊像一尊、画幅百轴、香金5000两、布帛1000匹、念珠万串等给五台山文殊寺，并制书盛赞圣地，下令敕修文殊寺。
至明武宗朱厚照时期，下令敕建了铜瓦殿，赐额广宗寺，又敕梵僧于中台顶建寺，铸铁为瓦，赐额演教，敕旨护持。
在此期间，藏传佛教格鲁派在五台山得到了迅速的发展。永乐年间，藏传佛教格鲁派高僧哈立麻在五台山居住一年，藏传佛教格鲁派祖师宗喀巴之弟子释迦耶希先后在五台山居住4年，使藏传佛教格鲁派在五台山兴盛起来。
1573年至1620年间，五台山的佛教兴盛繁荣起来。明神宗朱翊钧为母祈福，重修了大白塔，并下令敕造《大藏经》两藏送往五台山。
派遣大使在五顶和狮子窝设弘福万寿报国佑民吉祥大斋，又先后几次送《大藏经》，于狮子窝与五台顶安置。并在五台山设龙会，赐全山僧人锡杖和衣钵1200副，其母李太后也舍钱于五台山修建寺院。
一时间，五台山的寺院剧增，全山达104座，僧侣众多，佛事兴盛。宗派以禅宗和藏传佛教最为兴盛，而华严、律宗、净土其他宗派也都有所发展。
明英宗天顺年间，建造了普济寺，因地处北台叶斗峰之下，所以也叫做北山寺，寺周“群峰凝碧”，因而又称碧山寺，后来更名为“碧山十方普济禅寺”。
碧山寺坐北朝南，背山面水，是一座香火缭绕的古老寺院。碧山寺居高临下，亭台楼阁，星罗棋布，被两丈多高苍翠葱郁的白杨树包围着。
淙淙泉水，清脆可闻。沐浴在阳光之下的幢幢殿宇，掩映在水光山影之间，雄伟壮观。庙门前高悬横匾额一方，上书“护国碧山十万普济寺”几个鎏金大字，两侧是木制的对联，红底黑字，笔力遒劲，异常醒目。古人曾在诗中写道：
落日碧山寺，萧然古涧边。白云生翠崦，明月下寒泉。
凡是出家的僧尼和居士信徒到了碧山寺，一律免费食宿，任何人无权逐客。启程时如果缺少路费，寺中还得周济盘缠。碧山寺这种广济十方僧人的做法，被人们所乐道和赞赏，因此人们也称碧山寺为“广济茅蓬”，茅蓬是寺院的谦称。清朝以后，历朝君主，无论本人信佛与否，都相继不断地奉行着尊崇佛教的政策。至康熙、雍正、乾隆三朝，尊崇佛教，尤尊藏传佛教，已经成为一项基本的国策。
五台山是我国佛教名山中唯一汉藏佛教圣地，并且离京城较近，于是清朝的历朝皇帝便特别重视扶持五台山的佛教。
从顺治皇帝开始，就特别重视利用藏传佛教格鲁派来加强蒙古地区与朝廷之间的联系，鼓励藏族的佛教徒朝拜五台山，借以融洽民族关系，五台山藏传佛教权倾一时。
顺治皇帝曾经两次派数十名僧人到五台山，作护国佑民道场，曾命阿王老藏住持五台山的真容院，督理番汉僧众。
康熙皇帝从1684年以后，先后5次朝台，遍礼台顶，朝拜各庙，广赐题碑文匾额，还亲封菩萨顶大高僧丹巴扎萨克为清修禅师，赐提督印和斩杀剑，命山西全省按时进贡钱粮。
1705年，康熙皇帝敕令五台山的菩萨顶等10座寺庙改为藏传佛教寺院，并实行从藏传佛教的高僧中给五台山委任寺院主持的制度，还让统辖内蒙古、青海佛教事务的大活佛章嘉呼图克图住在镇海寺。
乾隆皇帝继位后，效法其祖，曾6次朝台，广题诗文匾额，屡拨巨款，重修寺院。嘉庆皇帝继位后，也到五台山朝拜过。镇海寺建在陡峻的石山嘴上。寺院因山借势，错落有致，从山腰到山顶形成步步高升格局。寺前有幡杆、石狮，寺内有殿堂楼房100间。存有4座大殿，分别是天王殿、大雄宝殿、观音殿和关公殿，其中观音殿又称文殊殿，殿内供奉有5尊菩萨，两侧是十八罗汉。
镇海寺的主要建筑是一进三重大殿，天王殿内两壁有四大天王，正中供弥勒佛。中殿内有3尊坐佛，背后饰有“灵光”，一色金身。后殿内正中有文殊菩萨坐卧狮塑像，前侧又有3尊金身坐像。
从中殿西侧的小门穿过是一套院，院内有1712年乾隆皇帝下令建造的十五世章嘉活佛墓塔。
塔基八角，每角塑有大力士，八面雕有精细的人物图案，塔腹正中雕有3尊坐佛，外围有8尊站像。圆腹之上，立有层层内缩的尖顶，造型别致，雕刻精细华美。
章嘉活佛是藏传佛教格鲁派中一个历代沿袭的职位，其地位仅次于达赖和班禅活佛。康熙皇帝尊章嘉活佛为“大国师”，让其统管内蒙古50个旗，镇海寺的规模日渐庞大。
自从康熙皇帝将罗睺寺改为藏传佛教寺院，并常住藏族僧人之后，青海、甘肃等地的藏族佛教徒纷纷前来朝圣五台山，并在该寺居住修持。
后来僧众逐渐增多，道光年间，修建了十方堂，也就是广仁寺，专门招待从远地来的僧人和少数民族善男信女。由于广仁寺没有地产，日常佛用开支仍然由罗睺寺担负。
广仁寺与罗候寺仅一墙之隔，规模较小，但布局很严整。寺中存有藏文大藏经《甘珠尔》，非常珍贵。寺内有三进殿宇，殿宇两侧配楼房长廊。殿堂和殿堂设置具有浓厚的藏传佛教寺庙特色。
在清代，蒙藏佛教徒对五台山的崇拜非常厉害，在每年4月至10月期间，前来进香者络绎不绝，使五台山的藏传佛教达到鼎盛时期。至嘉庆时，五台山有规模宏大的藏传佛教寺院共26座，僧人数千余人，其中菩萨顶一寺就有僧人561人。
至清末，五台山有青庙78座，僧侣也在千人以上。清代汉传佛教宗派继承了明末时期的传承，以禅宗为主，禅宗中以临济宗居首。直至近代，五台山的藏传佛教格鲁派仍然保持着一定的规模。
