桓玄又历数会稽王司马道子及其子司马元显的罪恶,流放司马道子到安成郡,数月后桓玄更派人杀死司马道子;又杀司马元显、庾楷、司马尚之和司马道子的太傅府中属吏。桓玄又图除去刘牢之,先命他为会稽太守,令其远离京口。刘牢之意图反叛但得不到北府军将领支持,于是北逃广陵投靠广陵相高雅之,于途中自杀。司马休之、高雅之和刘牢之子刘敬宣于是北逃南燕。
桓玄在三月攻入建康时就废除了元兴年号,恢复隆安年号,不久又改元大亨。及后,桓玄自让丞相及荆江徐三州刺史,以桓伟出任荆州刺史、桓修为徐、兖二州刺史、桓石生为江州刺史、卞范之为丹阳尹、桓谦为尚书左仆射,分派桓氏宗族和亲信出任内外职位。自置为太尉、平西将军、都督中外诸军事、扬州牧、领豫州刺史。另外又加衮冕之服,绿綟绶,增班剑至六十人,剑履上殿,入朝不趋,赞奏不名的礼遇。
四月,桓玄出镇姑孰,辞录尚书事,但朝中大事仍要咨询他,小事则由朝中桓谦和卞范之决定。自晋安帝继位以来,东晋国内战祸连年,人民都厌战不已,而桓玄上台后就罢黜奸佞之徒,擢用俊贤之士,令建康城中都一片欢欣景象,希望能过安定日子。不过很快,桓玄凌侮朝廷,豪奢纵欲,政令无常,故令人民失望。当时三吴******,很多人死亡,即使是富有的也是守着金玉财宝活活饿死家中,桓玄虽曾下令赈灾,但米粮不多,给予不足,纵然会稽内史王愉召还出外寻食的饥民回去领粮,还是有很多人在道旁饿死。
另一方面,桓玄亦先后杀害吴兴太守高素、竺谦之、高平相竺朗之、刘袭、彭城内史刘季武、冠军将军孙无终等北府军旧将,以图消灭刘牢之领下北府军势力。另亦要朝廷追论平定司马元显和殷仲堪、杨佺期的功勋,分别加封豫章公及桂阳公,并转让给儿子桓升及侄儿桓濬。又下诏全国避其父桓温名讳,同名同姓者皆要改名,又赠其生母马氏为豫章公太夫人。
大亨元年(403年),桓玄迁大将军,又上请率军北伐后秦,但随后就暗示朝廷下诏不准。桓玄本身就无意北伐,就装作出尊重诏命的姿态停止。同年,桓伟去世,桓玄因公简约礼仪,脱下丧服后又作乐。而桓伟一直是桓玄亲仗的人,桓伟死后桓玄孤危,桓玄不臣之心已露,同时全国对其有怨气,于是打算加快篡位工作。而桓玄亲信殷仲文及卞范之当时亦劝桓玄早日篡位,连朝廷加授桓玄九锡的诏命和册命都暗中写好。桓玄于是进升桓谦、王谧和桓修等人,让朝廷命自已为相国,更划南郡、南平郡、天门郡、零陵郡、营阳郡、桂阳郡、衡阳郡、义阳郡和建平郡共十郡封自己为楚王,加九锡,并能置楚国国内官属。及后桓玄自解平西将军和豫州刺史,将官属并入相国府。
当时桓玄的行动令原为殷仲堪党众的庾仄起兵七千人反抗,趁着接替桓伟的荆州刺史桓石康未到就袭取襄阳,震动江陵,不过不久就被桓石康等所平定。桓玄及后又假意上表归藩,却又自已代朝廷作诏挽留自己,然后再请归藩,又要晋安帝下手诏挽留,只因桓玄喜欢炫耀这些诏文,故此常常做这些自编自导的上表和下诏事件。另桓玄亦命人报告祥瑞出现,又想像历代般有高士出现,不惜命皇甫谧六世孙皇甫希之假扮高士,最终竟被时人称作“充隐”。而桓玄对政令执行亦无坚定意志,常改变主意,导致政命不一,改变起来乱七八糟。
大亨元年(403年)十一月,桓玄加自己的冠冕至皇帝规格的十二旒,又加车马仪仗及乐器,以楚王妃为王后,楚国世子为太子。十一月十八日,由卞范之写好禅让诏书并命临川王司马宝逼晋安帝抄写。二十一日,由兼太保、司徒王谧奉玺绶,将晋安帝的帝位禅让给桓玄,随后迁晋安帝至永安宫,又迁太庙的晋朝诸帝神主至琅邪国。及后百官到姑孰劝进,桓玄又假意辞让,官员又坚持劝请,桓玄于是筑坛告天,于十二月三日正式登位为帝,并改元“永始”,改封晋安帝为平固王,不久迁于寻阳。
桓玄篡位以后,骄奢荒侈,游猎无道,通宵玩乐。即使是桓伟下葬的日子,桓玄在日间哭丧但夜晚就已去游玩了,有时甚至一日之间多次出游。又因桓玄性格急躁,呼召时都要快速,当值官员都在省前系马备用,这样的朝廷已经不再是朝廷的样子了。另桓玄又兴修宫殿、建造可容纳三十人的大乘舆。百姓更因而疲惫困苦,民心思变。北府旧将刘裕、何无忌与刘毅等人于是乘时举义兵讨伐桓玄。
永始元年(404年)二月二十七日,刘裕等人正式举兵,计划在京口(今江苏镇江)、广陵(今江苏扬州市)、历阳和建康四地一同举兵。其中刘裕派了周安穆向建康的刘毅兄刘迈报告,通知他作内应,然而刘迈惶恐,后更以为图谋被揭向桓玄报告,桓玄初封刘迈为重安侯,但后又以刘迈没有及时收捕周安穆,于是杀害刘迈和其他刘裕于建康的内应。原于历阳举兵的诸葛长民亦被刁逵所捕,但刘裕等终也成功夺取了京口和广陵,镇守两地的桓修和桓弘皆被杀。
刘裕率义军进军至竹里,桓玄加桓谦为征讨都督。桓谦请求桓玄派兵攻刘裕,但桓玄畏于刘裕兵锐,打算屯兵覆舟山等待刘裕,认为对方自京口到建康后见到大军必然惊愕,且桓玄军坚守不出,对方求战不得,会自动散走。不过桓谦坚持,桓玄就派了顿丘太守吴甫之及右卫将军皇甫敷迎击。不过二人皆在与刘裕作战中战死,桓玄大惧,就召见一众会道术的人作法试图对抗刘裕。后桓玄又命桓谦、何澹之屯东陵,卞范之屯覆舟山西,共以二万兵抵抗刘裕。不过刘裕进至覆舟山东时故设疑兵,令敌方以为刘裕兵力众多,桓玄得报后更派庾赜之率兵增援诸军。然而,因为刘裕的兵众大多是北府军出身,故桓谦军队都畏惧刘裕,未有战意,而刘裕则领兵死战,并乘风施以火攻,终击溃桓谦等。
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